大型IBAD装置によるIBAD-MgOの検討

Development of IBAD-MgO layer with the large IBAD system

羽生智, 花田康, 田下千晴, 森田克洋, 林田知朗, 朽網寛, 五十嵐光則, 柿本一臣, 飯島康裕, 齊藤隆（フジクラ）
s_hanyu*fujikura.co.jp

Abstract:製造の高速化が可能なIBAD-MgOを大型の成膜面積を有するIBAD装置にて成膜検討している。当日はIBAD中間層を中心とした中間層全体についても触れる