津田 理 , 鈴木 暢 , 小島 哲朗 , 川崎 健志 , 谷貝 剛 , 濱島 高太郎 （東北大）
tsuda*ecei.tohoku.ac.jp
Abstract: これまでに、酸化物超電導バルク体と永久磁石を用いた磁気浮上型免震装置を新たに提案し、免震原理の妥当性を確認するとともに、その有効性を検証するために、地震波を想定した水平方向振動（振幅：2mm〜2cm、周波数：5Hz以下）に対する振動伝達特性ならびに浮上力特性について検討してきた。本研究では、本磁気浮上型免震装置の嫌振機器（電子顕微鏡、半導体製造装置等）への応用の可能性を検証するために、上記嫌振機器で問題となる微小振動（振幅：1mm以下、周波数：〜100Hz）に対する振動伝達特性ならびに浮上力特性を検討したので報告する。