TFA-ＭＯＤ法によるＹ系線材高Ic化のための中間層の検討

Improvement of buffer layer for the high Ic YBCO coated conductor by using TFA-MOD process

高橋 保夫 ， 小泉 勉 ， 兼子 敦 ， 長谷川 隆代 （昭和電線） ； 中西 達尚 ， 塩原 融 （SRL）
y.takahashi112*cs.swcc.co.jp
Abstract:　 Y系次世代線材の作製にはIBAD中間層を用いるタイプと配向Ni合金を用いるタイプの基板が検討されており、TFA-MOD法により超電導層を作製する場合にはYBCO膜の配向制御と基板や中間層との反応防止層として役割を担うCeO2中間層を最表面に配置した構造が一般的に用いられている。本研究ではTFA-MODによるYBCO線材の特性向上を目的とした検討としてCeO2中間層の高特性化及び成膜速度の高速化について検討した結果を報告する。CeO2/CZO/Ni-W構造の基板においてCeO2層及びCe-Zr-O層の高速化について検討を進めており、それぞれ約2倍の成膜速度で成膜した中間層を作製しても従来のJcとほぼ同等の約1MA/cm2のJcが得られた。詳細については当日報告する。