PLD-Gd1Ba2Cu3Oy線材の高速成膜化と高Jc化

Increase of deposition rate and enhancement of Jc for PLD- Gd1Ba2Cu3Oy coated conductor

三浦 正志 ， 須藤 泰範 ， 吉積 正晃 ， 和泉 輝郎 ， 塩原 融 （SRL）
m_miura*istec.or.jp
Abstract:　 PLD法を用いて作製した長尺REBCO線材は高いJcを有することが確認されている。しかし、PLD-REBCO線材を電力応用するためには低コスト化が課題である。このためには、材料高収率化、高速成膜化、高Jc化が必要である。そこで本研究では、超電導層の高速成膜化を行うためにターゲット-基板間距離を制御し材料高収率化、高Jc化に向け、組成の異なる種々のターゲットを用い、PLD-REBCO線材を作製し、その効果を検討した。その結果、製造速度2 m/h（改善前の2倍以上）、膜厚1.2 μmでJc＝2.7 MA/cm2 （改善前の1.5倍以上）を得た。1 m長ではIcs.f. （ETE）＝312 A-width （Jc＝2.6 MA/cm2）を得た。発表では、特性向上に関して、結晶成長様式及び微細構造観察の観点から議論する。