高温超伝導バルクを用いた非接触スピン処理装置の研究開発 (4)
− 浮上力・浮上高向上のための磁気回路の検討 −

Development of Magnetic Levitated Spin Coater Using HTS Bulk (4)
− Investigation of Permanent Magnet Array to Gain Levitation Force and Height −

福井 聡 ， 小川 純 ， 岡 徹雄 ， 佐藤 孝雄 ， 山口 貢 （新潟大） ， 宮崎 紳介 （MTC） ， 西脇 俊郎 （新潟 TLO）
fukui*eng.niigata-u.ac.jp
Abstract:　 本研究は，半導体フォトマスク製造プロセスに用いるスピン処理装置にHTSバルクを用いた磁気浮上を適用し非接触化することにより，従来の機械軸受からの微粒子ダストの発生を抑えて，よりクリーンなマスク製造環境を実現に寄与することを目的としている。本報告では，現在制作中の要素試験装置の概要と試験結果の速報を行う。