Nd:YAG レーザを用いた （Y，Ho）Ba2Cu3Oz 薄膜の作製

Preparation of （Y，Ho）Ba2Cu3Oz films by pulsed laser deposition method using Nd:YAG laser

前田 敏彦 （高知工科大） ， ダ・シルバ インディカ （高知工科大）
maeda.toshihiko*kochi-tech.ac.jp
Abstract:　 Nd:YAG レーザはエキシマレーザに比べコンパクト、比較的安価、安全という利点を有するが、これまではパルスエネルギがやや小さいとされ、高温超伝導酸化物のパルスレーザ蒸着（PLD）法による成膜への適用例が比較的少なかった。今回我々は高パルスエネルギータイプの Nd:YAG レーザを導入し、これを用いて（Y, Ho）Ba2Cu3Oz の成膜を試みたので、その結果について報告する。