ナノロッドを含んだ超電導膜の組織
―高密度ナノロッドおよび厚膜化―

Structure of superconducting films containing nanorods
−higher nanorod densities or thicker films−

一瀬 中 （電中研） ； Mele Paolo ， 松本 要 （九工大）； 向田 昌志 （九大） ； 喜多 隆介 （静岡大） ； 吉田 隆 （名大）； 堀井 滋 （東大）
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Abstract:　 BaZrO3あるいはBaSnO3等の不純物とREBa2Cu3Oy（RE：希土類元素）を混合したターゲットを用いてPLD法でREBa2Cu3Oy超電導膜を作製した場合，超電導膜内部にBaZrO3あるいはBaSnO3のナノロッドが形成することが知られている。通常，超電導膜に添加する不純物は重量比で１〜４wt%程度，作製する膜厚は300nm程度である。今回，過剰に不純物を添加した場合，あるいは，膜厚が１μｍ程度になった場合，ナノロッドの構造がどのようになるか微細構造観察により明らかにした。それらの結果を報告する。