高温超伝導バルクを用いた非接触スピン処理装置の研究開発 （3）
Development of Magnetic Levitated Spin Coater Using HTS Bulk （3）
福井 聡
，小川 純，岡 徹雄，山口 貢，佐藤 孝雄（新潟大）；笹原 友栄（MTC）；西脇 俊郎，結城 洋司（新潟TLO）
fukui@eng.niigata-u.ac.jp
Abstract: 半導体フォトマスク製造プロセスに用いるスピン処理装置にHTSバルクを用いた磁気浮上を適用し非接触化することにより，従来の機械軸受からの微粒子ダストの発生を抑えて，よりクリーンなマスク製造環境を実現に寄与することを目的とした研究である。本報告では，現在制作中の要素試験装置の概要と試験結果の速報を行う。