MOCVDによる200m級YBCO超電導層成膜
Preparation of 200m-class long YBCO layer by MOCVD
渡部 智則
，鹿島 直二，須田 昇，森 匡見，長屋 重夫（中部電力）；宮田 成紀，衣斐 顕，山田 穣，和泉 輝朗，塩原 融（SRL）
Watanabe.Tomonori@chuden.co.jp
Abstract: YBCO超電導線材の長尺化に向け、原料ガスのノズルとリアクタ部分を多段化したMOCVD（有機金属化学気相法蒸着）装置によるYBCO成膜を検討している。ホットウォールタイプのCVDで、超電導層の膜厚に応じた輻射率の変化を考慮した成膜温度制御を用いることで臨界電流の向上が図られた。この結果を基に、50m/hの基板移動速度で成膜温度を調整しながら積層成膜を行い、202m長でend-to-end Ic＝92.8Aを達成した。今回の報告は、この線材を中心に、12段MOCVD装置による長尺線材開発の進捗について述べる。