PLD法によるYBCO高速成膜化の検討
Study of high speed deposition of YBCO films by the PLD method

柿本 一臣 , 飯島 康裕 , 富士 広 , 羽生 智 , 斉藤 隆 （フジクラ）
kkakimoto@fujikura.co.jp

Abstract: 現在、我々は超電導応用機器作製に必要な多量のY系線材を安定して作製するために、大面積型局所加熱PLD装置および大面積型均熱加熱PLD装置の立ち上げを行っている。また、成膜後工程である安定化層形成及び絶縁処理等の線材作製全般に渡っても研究を進めている。今回は、フジクラでのY系線材作製の現状を報告する。