MOCVDによる長尺YBCO超電導線材作製の検討
Investigation on fabrication of long YBCO coated conductors by MOCVD process

渡部 智則 , 鹿島 直二 力 , 森 匡見 , 須田 昇 , 長屋 重夫 （中部電力）；宮田 成紀 , 衣斐 顕 , 山田 穣 , 和泉 輝郎 , 塩原 融 （SRL）
Watanabe.Tomonori*chuden.co.jp

Abstract: 原料ガスのノズルとリアクタ部分を多段化したMOCVD（有機金属化学気相法蒸着）装置によるYBCO線材作製において、長尺線材の作製と特性向上を検討している。これまで、膜厚を厚くしてもIcの増加しにくかったが、YBCO層の膜厚に応じて成膜条件を調整することによって、短尺では1.5μm厚さでIc＝270A、1.8μm厚さでIc＝294Aを達成した。今回の報告は、特性向上と長尺線材作製の進捗について報告する。