NBCO超伝導薄膜上に堆積したNiO層の特性
Properties of NiO layer deposited on an NBCO superconducting film.
守屋 雅隆
, 今村 太郎 , 宇佐美 興一 , 水柿 義直 , 小林 忠行 （電通大）
moriya*ee.uec.ac.jp
Abstract:
酸化物高温超伝導薄膜表面には数nmの粗さが存在するため、積層型の超伝導／絶縁層／超伝導（SIS）接合の作製は難しい。半導体材料をバリアとして用いると厚さを厚くできるため、この点で有利である。本研究では積層型SIS接合におけるバリア層として用いる目的で、NBCO超伝導薄膜上にNiOの堆積を行った。まずa軸配向NBCO薄膜の堆積条件を検討した後に、その上にNiOを堆積し、結晶化していることをX線回折によって確認した。