レーザ照射を併用したMOD法による高Jc-YBCO膜の作製〜１．高速成膜法の開発
Preparation of high-Jc YBCO films by an ecimer-laser-assisted MOD - 1.Rapid process

相馬 貢 , 土屋 哲男 , 塚田 謙一 , 山口 巖 , 真部 高明 , 熊谷 俊弥 （産総研）；小柳 邦彦 , 佐藤 亮介 , 海老沢 孝 , 大津 英彦 （日本製鋼所）
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Abstract: フッ素フリー溶液を用いたMOD法に、エキシマーレーザ照射を併用してYBCO膜を作製する技術を開発した。セリアをバッファとしたサファイア基板に作製した薄膜のJcは6MA/cm2を超す大きな値が得られた。さらに、照射効果により、焼成時間をこれまでに比べて大幅に短縮することができた。高Jcと焼成プロセスが短縮された原因について考察する。