スパッタ法によるMg-B超伝導薄膜の作製 （2）
Preparation of superconducting Mg-B film by sputtering （2）
鈴木 光政
, 喬 良 , 小沼 英樹 , 柏倉 隆之 （宇都宮大）
msuzuki*cc.utsunomiya-u.ac.jp
Abstract:
スパッタ法により，Mg-B超伝導薄膜の作製を検討している。Mgターゲットの上にBチップを配置したシングルターゲットを構成し，rf-マグネトロンスパッタ法を採用している。チャンバー内には，液体窒素のシュラウドを基板ホルダーを囲むように配置し，不純ガスが薄膜内に混入するのを防ぐ対策を施してある。前回，as-grown状態で超伝導になる薄膜を作製したが，超伝導臨界温度は20K前後でまだ低く，最適な作製条件の検討続けている。今回は，特にターゲット上に配置するBチップ枚数の効果を検討したので，その結果について報告する。