c軸配向YBCO薄膜のSTOとMgO基板上における成長形態に関する研究
The growth morphology of c-axis oriented YBCO films on STO（100） and MgO（100）
宇都宮大
Department of Energy and Environmental Science， Graduate School of Engineering utsunomiya university
鈴木 光政，神戸 美香，安藤 誠，吉澤 隆仁，渡辺 隆志
makomakomako1234*hotmail.com
Abstract :
DCスパッタリング装置により放電電流をパラメーターとしてYBCO薄膜をSTO（100）及びMgO（100）基板上に作製した。試料のX線解析、及び原子間力顕微鏡・透過型電子顕微鏡による観察結果、臨界温度測定より考察を行った。STO基板上に作製した薄膜の表面はMgOのものと比べて、明確なピラミッド状のスパイラル構造に成長しており底辺の方向は基板のa軸・b軸と同方向であった。放電電流が小さい場合には薄膜表面のスパイラル構造の底辺も小さい。放電電流に関わらずスパイラルのステップ高さはc軸格子定数とほぼ一致していた。放電電流が大きいと二段階の抵抗遷移を示す傾向が認められた。
Keyword(s) :
YBa2Cu3O7-δ,film,c-axis,XRD,AFM,TEM