１２段ＭＯＣＶＤ法によるＹＢＣＯ超電導線材開発
Development of YBCO coated conductor by 12-stage MOCVD
中部電力株式会社A，超電導工学研究所B
Chubu electric power co.，inc
森匡見A，鹿島直二A，長屋重夫A，宮田成紀B，室賀岳海B，渡部智則B，山田穣B，和泉輝郎B，塩原融B
Mori.Masami2*chuden.co.jp
Abstract :
Ｙ系超電導薄膜は実用化段階に入り、高Ｉｃ特性と共に線材作製速度を改善する開発が進められている。ＭＯＣＶＤ法はリアクタ部分の多段化により、比例して線材作製速度が上げられると期待されている。そこで、新規に１２段ＭＯＣＶＤ装置を開発し、Ｙ系超電導線材の成膜プロセスを検証したので報告する。
Keyword(s) :
ＹＢＣＯ,超電導線材,ＭＯＣＶＤ,,,