IBAD基板を用いたマルチ-ターン・マルチプルームPLD法による長尺YBCO線材の開発
Development of long YBCO coated conductors using multi-turn and multi-plume pulsed laser deposition on IBAD substrates
A超電導工学研究所 名古屋高温超電導線材開発センター，B超電導工学研究所
SRL-Nagoya Coated Conductor Center
渡部智則A， 栗木礼二A， 衣斐顕A， 室賀岳A海，宮田成紀A，山田穣A， 塩原融B
t-nabe*istec.or.jp
Abstract :
YBCO線材作製のため、IBAD基板上へのPLD法によるYBCO層成膜を検討している。マルチ-プルーム・マルチ-ターンと呼ぶ、見かけ上複数のプルームを発生させ、複数回巻きまわした基板に成膜する手法でYBCO層の成膜の効率化を図ってきたが、今回基板の巻きまわし数を3回から4回に増やすことで蒸着領域を効率的に使用して成膜速度の向上に成功した。短尺ではIc＝340A をテープ移動速度2m/h相当で達成し、さらに100ｍ長でend-to-end Ic＝159Aを達成した。最新の長尺線材の開発進捗を報告する。
Keyword(s) :
マルチ-ターン,マルチ-プルーム,PLD,IBAD,YBCO,