IBAD法による長尺配向中間層の作成
Long length processing of IBAD textured templates
（株）フジクラ
Fujikura Ltd.
金子直貴，飯島康裕，柿本一臣，須藤泰範，齋藤隆
nkaneko*fujikura.co.jp
Abstract :
500m級長尺配向中間層作成の基礎成膜条件の検討として行っている110cm×25cmの大面積を有するホルダー上での均一なIBAD中間層の成膜について述べる。また、電解研磨により表面粗さを改善した金属基板の効果についても述べる。
Keyword(s) :
Y系線材,配向中間層,IBAD,Gd2Zr2O7,長尺,電解研磨