m面サファイア基板上におけるCeO
2
，YBa
2
Cu
3
O
7-δ
薄膜の作製と評価(II)
Fabrication and characterization of CeO
2
and YBa
2
Cu
3
O
7-δ
thin films on m-plane sapphire substrates
水戸 俊喜
，西村健，野口洋祐，齋藤敦，平野悟，大嶋重利（山形大）山形大
drx92470*dipfr.dip.yz.yamagata-u.ac.jp
Abstract: 核磁気共鳴装置（NMR）では感度の低さが問題点に挙げられている。近年、受信コイル部の材料を常伝導体から超伝導体への移行が検討されている。しかし、現在用いられているコイル形状は平面型であり、1方向のみの送受信である。そこで単結晶が六角柱であるサファイア結晶のm面上にコイルを作製することを考案した。これにより多方向による送受信が可能となり感度向上が期待できる。よってm面サファイア基板上へのYBCOの成膜条件が重要になってくる。その基礎的な研究として誘導結合型スパッタリングにより、m面サファイア基板上にCeO
2
の形成条件を検討し、その上にYBCO薄膜の作製を行ったので報告する。