くし型電極を用いた酸素１８置換ＳＴＯキャパシタンス温度センサー
Capacitance temperature sensor made of oxygen isotope-exchanged STO with comb type electrodes
高島 浩
，王瑞平，PRIJAMBOEDI Bambang，白川直樹， 岡野篥（産総研）；鎌田修，古内明夫（フルウチ化学）；東海林彰（産総研）；伊藤満（東工大）
h-takashima*aist.go.jp
Abstract: 高磁場環境下における低温計測にはキャパシタンス温度センサーが有効である。同位体酸素置換したチタン酸ストロンチウム単結晶にくし型電極を形成し、キャパシタンスの温度依存性を測定し、その結果から、温度センサー特性を調べたので報告する。平行平板電極は両面に電極を形成するため、測定面と温度センサー間には隙間が必要となる。一方、くし型電極利用の場合、くし型電極形成面に対抗する面は、測定面と密着することができるため、より正確な温度を求めることができる。今回、くし型電極によって、２．２Ｋにおける絶対感度0.05以上を得た。試料作製方法、温度センサー特性の温度依存性について報告する