IBAD法による長尺配向GZO中間層の作成
Long length processing of GZO textured templates by IBAD method
羽生 智
，金子直貴，飯島康裕，柿本一臣，須藤泰範，齋藤隆（フジクラ）
s_hanyu*fujikura.co.jp
Abstract: Y系超伝導線材に用いる500m級の長尺配向中間層作成についてIBAD法によりGd2Zr2O7を成膜している。110cm×25cmの大面積を有するホルダー上でのIBAD中間層の成膜について述べる。