m面サファイア基板上におけるCeO2,YBa2Cu3O7-δ薄膜の作成と評価
Fabrication and characterization of CeO2, / YBa2Cu3O7-δ thin films on a-plane sapphire substrates
山形大学工学部
°水戸俊喜, 西村健, 野口洋祐, 齋藤敦, 向田昌志, 大嶋重利
E-mail : drx92470*dipfr.dip.yz.yamagata-u.ac.jp
Keyword(s) : m面サファイア基板,CeO2,YBCO薄膜,誘導結合型スパッタリング,,
核磁気共鳴装置（NMR）では感度の低さが問題点に挙げられている。近年、受信コイル部の材料を常伝導体から超伝導体への移行が検討されている。しかし、現在用いられているコイル形状は平面型であり、1方向のみの送受信である。そこで単結晶が六角柱であるサファイア結晶のm面上にコイルを作製することを考案した。これにより多方向による送受信が可能となり感度向上が期待できる。よってm面サファイア基板上へのYBCOの成膜条件が重要になってくる。その基礎的な研究として誘導結合型スパッタリングにより、m面サファイア基板上にCeO