低温磁場中計測用キャパシタンス温度センサの高度化(II)
Development of the capacitance temperature sensor for cryogenic temperature in magnetic fields (II)
A産業技術総合研究所,B明治大学,C東工大応セラ研
°高島 浩A,坂巻 充彦B,王 瑞平A,白川 直樹A,Bambang PrijamboediA,東海林 彰A,根本 俊雄B,伊藤 満C
E-mail : h-takashima*aist.go.jp
Keyword(s) : 量子常誘電体,キャパシタンス温度センサ,低温磁場中温度計測,強誘電体,温度感度,絶対感度
低温における温度計測は、主に熱電対や抵抗温度計によって計測されているが、強磁場中では誤差が生じ、補正が必要である。一方、誘電体を用いたキャパシタンス温度センサは、磁場に対し不変である。この特徴を利用した低温強磁場中におけるキャパシタンス温度センサの高感度化を行った。誘電体としてチタン酸ストロンチウムを用いて同位体置換を行い、その特性を調べた結果、絶対感度で0.08の値を得た。これは、既存技術の4倍以上の温度センサ特性であることを示している。ここでは、温度センサ特性の詳細について結晶方位、同位体置換量の詳細について述べる。