低温磁場中計測用キャパシタンス温度センサの高度化 (I)
Development of the capacitance temperature sensor for cryogenic temperature in magnetic fields
A明治大学,B産業技術総合研究所,C東工大応セラ研
°坂巻 充彦AB,高島 浩B,王 瑞平B,白川 直樹B,Bambang PrijamboediB,東海林 彰B,根本 俊雄A,伊藤 満C
E-mail : a-sakamaki*aist.go.jp
Keyword(s) : 量子常誘電体,キャパシタンス温度センサ,低温磁場中温度計測,強誘電体,,
低温における温度計測は、主に熱電対や抵抗温度計によって計測されているが、強磁場中では誤差が生じ、補正が必要である。一方、誘電体を用いたキャパシタンス温度センサは、磁場に対し不変である。この特徴を利用した低温強磁場中におけるキャパシタンス温度センサの高感度化を行った。誘電体としてチタン酸ストロンチウムを用いて同位体置換を行い、その特性を調べた結果、絶対感度で0.08の値を得た。これは、既存技術の4倍以上の値である。以上の結果から、高感度化が実現されたと考えられる。ここでは、作製方法の詳細、基本的温度特性について報告する。