高抵抗率の金銀合金層を分流保護層とする超電導薄膜限流素子 (2)
−産総研 YBCO 薄膜（MOD法） 使用例
Superconducting thin-film fault-current limiting elements using high-resistivity AuAg alloy shunt layers (2)
- An example using YBCO films by MOD
産総研
°古瀬充穂,山崎裕文,中川愛彦,真部高明,相馬貢,塚田謙一,近藤和吉,山口巖,熊谷俊弥
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Keyword(s) : 限流器,薄膜限流素子,YBCO,MOD法,合金層,分流保護層
高温超電導薄膜を用いる薄膜限流素子において，ホットスポット現象を防ぐために，金などの金属を超電導層の上に蒸着して分流保護層とする方法が一般的である。しかし，金属層の付加は限流素子の抵抗を大きく低下させてしまい，事故時に要求される耐電圧を得るために大量の大面積薄膜を必要としてコスト高になる。産総研のMOD法によるYBCO薄膜はJcのばらつきこそ他の製法に及ばないものの，安価で大量生産に向く。このMOD法YBCO膜上に，純金よりも１桁近く抵抗率の高い金銀合金を蒸着して常電導転移時の分流保護層とし，またさらに安価な外付け分流抵抗を並列接続した。Icを越える電流を通電し，素子が熱的に破壊されるまでの限界電流値を測定し，合金蒸着の効果を評価した。