無フッ素系MOD法によるRE123薄膜の作製
Fabrication of RE123 thin films by a Fluorine Free MOD Process
A住友電工,B産総研
°長谷川勝哉A,上山宗譜A,母倉修司A,大松一也A,山口巖B,真部高明B,相馬貢B,熊谷俊弥B
E-mail : hasegawa-katsuya*sei.co.jp
Keyword(s) : RE123,薄膜線材,MOD,,,
MOD法は低コストプロセスとしてRE123薄膜線材への適用が期待されている．中でも，無フッ素系溶液を用いたMOD法は，フッ素系の場合と比較して短時間熱処理での超電導層が形成できるなどの特徴がある．本研究では，産総研がオリジナルに開発した無フッ素系MOD法によりRE123薄膜を作製した結果を報告する．