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ＭＯＣＶＤ法によるＹ系超電導薄膜の厚膜化プロセス開発
Development of the thick film process on YBCO coated conductor by MOCVD

中部電力株式会社^A,超電導工学研究所^B
°森匡見^A,鹿島直二^A,長屋重夫^A,宮田成紀^B,室賀岳海^B,渡部智則^B,山田穣^B,和泉輝郎^B,塩原融^B
E-mail : Mori.Masami2*chuden.co.jp
Keyword(s) : ＹＢＣＯ,超電導線材,ＭＯＣＶＤ,厚膜化,,

Ｙ系超電導薄膜は厚膜化により臨界電流Ｉｃが向上することが期待される。我々が取り組んでいるＭＯＣＶＤ法は高温で熱平衡状態である点が他の成膜プロセスと異なる。そこで今回厚膜化プロセスにおいて、基板温度および線材移動速度等の影響について検討した結果を報告する。