1A-a05

IBAD-PLD法による長尺YBCO線材の開発(2)
-マルチ-ターン・マルチプルームによる長尺YBCO層のPLD成膜-
Development of long YBCO coated conductor by IBAD-PLD method (2) -Pulsed laser deposition of long YBCO layer using multi-turn and multi-plume system-

^A超電導工学研究所　名古屋高温超電導線材開発センター,^B超電導工学研究所　線材研究開発部
°渡部　智則^A,栗木　礼二^A,衣斐　顕^A,室賀　岳海^A,宮田　成紀^A,山田　穣^A,塩原　融^B
E-mail : t-nabe*istec.or.jp
Keyword(s) : IBAD,マルチ-プルーム,マルチ-ターン,PLD,,

YBCO線材作製のため、IBAD基板上へのPLD法によるYBCO層成膜を検討している。見かけ上、複数のプルーム(マルチ-プルーム)を発生させ、３回巻きまわした長尺基板(マルチ-ターン)に成膜することで、膜質の均質化と成膜レートの増大の両立を図った。21m長でend-to-end Ic=85Aを達成しており、さらに高Ic化を図った結果について報告する。