IBAD法による長尺配向中間層の作製
Development of long textured template by IBAD method
(株)フジクラ
°飯島康裕, 金子直貴, 須藤泰範, 柿本一臣, 斉藤隆
E-mail : ijm*rd.fujikura.co.jp
Keyword(s) : YBCO線材,IBAD,中間層,長尺化,,
reel-to-reel方式によってIBAD法によって200-300ｍ長の配向中間層を作製している。PLD法による自己配向層と組み合わせてΔφ〜5°となるように膜厚の最適化を実施している。今後500ｍ長の配向中間層を形成するための成膜技術開発について報告する。