高温超伝導薄膜マイクロストリップフィルタにおける共振器形状および薄膜品質の相互変調特性への影響

Effect of resonator geometry and film quality on intermodulation for microstrip filters of high-temperature superconducting films

@佐藤 寿志A,長 敬三B,J. KurianA,内藤 方夫A

NTT物性基礎研究所A,NTT未来ねっと研究所B

高温超伝導材料で構成したRFフィルタは、移動通信基地局用送信増幅器の所要性能を緩和する上で期待されているが、大電力入力時に歪変調波が発生するという問題がある。本研究では、歪変調波抑圧の基礎検討として、小型化・多段化に有利な薄膜マイクロストリップ型バンドパスフィルタを対象に、フィルタを構成する共振器の線幅・超伝導薄膜の膜厚及び薄膜品質改善が歪変調波特性に与える影響を実験的に検討した。得られた結果から、膜厚がIP3の増大に有効であること、またMBE成長NBCO薄膜が市販のYBCO薄膜に較べてIP3増大に有効であることを確認した。