種々の基板上に作製したBaF2を含む前駆体膜の減圧酸素処理によるYBCO膜の結晶配向

Crystal orientation of YBCO films prepared on several substrates by low-pressure oxygen atmosphere annealing of precursor films including BaF2

@一瀬 中A,E,向田 昌志B,E,菊池 章弘C,太刀川 恭治D,秋田 調A,井上 廉C

電中研A,山形大学B,物材機構C,東海大D,CREST-JSTE

水蒸気を導入せず減圧酸素中で、フッ化バリウムを含んだ前駆体膜を熱処理する方法により作製したYBCO膜は基板界面からエピタキシャル成長し、臨界電流特性も良いことを示した。しかし、c軸配向膜内に分布するa軸配向粒が臨界電流特性に影響を与えている可能性がある。また、a軸配向粒の成長は下地の基材により大きく左右されると考える。そこで、種々の基材上にフッ化バリウムを用いた方法でYBCO膜を作製し、YBCO膜の結晶配向性について調べた。