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改良型TFA-MOD法によるYBCO線材プロセスの高速化

Fabrication process of YBCO coated conductors by advanced TFA-MOD method with high production rate

@本庄哲吏^A,寺西亮^A,富士広^A,松田潤子^A,徳永義孝^A,和泉輝郎^A,塩原融^A,山田　穣^A,後藤智誉^B,芳仲篤也^B,矢島明政^B

超電導工学研究所^A,旭電化工業^B

TFA-MOD (Metal Organic Deposition)法は、非真空プロセスで低コストであることから、RE系超電導テープ線材成膜方法として期待されている。我々はTFA-MOD法の改良を行い, CeO₂/Gd₂Zr₂O₇(IBAD)/ハステロイ上に膜厚1.48micron、Ic(77K,Self field)=292A/cm-widthを有するYBCO膜の成膜に成功した。本報ではさらに高速成膜を目指したYBCO成膜プロセスに対する検討内容を報告する。