改良型TFA-MOD法によるYBCO線材プロセスの高速化

Fabrication process of YBCO coated conductors by advanced TFA-MOD method with high production rate


@本庄哲吏A,寺西亮A,富士広A,松田潤子A,徳永義孝A,和泉輝郎A,塩原融A,山田 穣A,後藤智誉B,芳仲篤也B,矢島明政B

超電導工学研究所A,旭電化工業B


TFA-MOD (Metal Organic Deposition)法は、非真空プロセスで低コストであることから、RE系超電導テープ線材成膜方法として期待されている。我々はTFA-MOD法の改良を行い, CeO2/Gd2Zr2O7(IBAD)/ハステロイ上に膜厚1.48micron、Ic(77K,Self field)=292A/cm-widthを有するYBCO膜の成膜に成功した。 本報ではさらに高速成膜を目指したYBCO成膜プロセスに対する検討内容を報告する。