TFA-MOD法によるYBCO膜作成における仮焼条件の検討

Calcining conditions for YBCO films by metalorganic deposition method using trifluoroacetates

超電導工学研究所
@丹羽 利治, 荒木 猛司, 室賀 岳海, 山田 穰, 平林 泉

　 近年、トリフルオロ酢酸を用いる金属有機物堆積法(TFA-MOD法)が報告されている。この方法は、非真空プロセスで高Jcを持つYBCO薄膜を再現性良く作成できるなどの特徴がある。しかし、依然として克服すべき問題も少なくない。今回、仮焼時間とJcの相関性から 生産性向上と高Jc化のために仮焼時間の短時間化を図った。同時に、前駆体の成長過程について検討した。