小面積超伝導膜の表面抵抗測定法に関する研究

Measurement of surface resistance on small area superconductor film

山形大学
@楠 正暢, 稲童丸 桃子, 高坂 大介, 大嶋 重利, 相澤 慶二, 向田 昌志

　 誘電体共振器法は超伝導薄膜の表面抵抗の非破壊標準測定法として用いられている。本手法による現状の測定技術では直径20mm程度以上の範囲で均一な薄膜を要する。しかし、マイクロ波・ミリ波応用を念頭に置いた材料開発・作製プロセスの研究の初期段階では、比較的小さな基板を用いて試験される場合が多く、直径10mm以下の薄膜の寸法で評価できることが好ましい。今回我々は、38GHzの共振周波数を持つサファイア円柱を用いて小面積薄膜の表面抵抗測定の検討を行ったので報告する。