MgO基板上YBa₂Cu₃O_7-δ薄膜成長におけるBaZrO₃バッファ層作製条件の最適化

The optimize of conditions for manufacture of BaZrO₃ buffer layer in YBa₂Cu₃O_7-δ thin films on the MgO substrates

山形大学工学部
@山嵜 裕弥, 牧野 さよ子, 新海 優樹, 楠 正暢, 向田 昌司, 大嶋 重利

　 MgO上YBa₂Cu₃O_7-δ薄膜にMgOに格子整合するBaZrO₃バッファ層を用いると、表面抵抗を増大させるYBa₂Cu₃O_7-δの面内揺らぎ(δφ)を低減できることが分かった。今回、このBaZrO₃バッファ層の成長温度、成長時の酸素圧力依存性等の作製条件の最適化を行い、δφをさらに低減できたので報告する。