Superconducting Mg−B films by DC sputter deposition
日大理工A
@新家 康弘A, 八十濱 和彦A
私たちは、DCマグネトロンスパッタ法によるMｇB２の薄膜化を試みました。MｇB２は、Mｇの酸化や高い揮発性のために良好な試料を得ることが難しいとされています。そこで、温度の上昇とともにボロンの抵抗が急激に低下することに着目し、スパッタ法による薄膜化が可能であると判断しました。基板に堆積させたMg−B薄膜は、ガス圧、基板温度、スパッタ電力、最終的な熱処理などの条件により様々な影響を受けます。その条件と薄膜の特性などを中心に研究を進めました。