小型4Kパルス管冷凍機の開発

Development of a small 4K pulse tube cryocooler


ダイキン工業(株)半導体機器部
@藤本 修二, 森下 弘之


  光学測定などの研究用小型4Kパルス管冷凍機を開発した。冷却性能、低振動性等を報告する。