Long and rapid formation of YBCO tape by using silver tape as substrate
フジクラA,鹿児島大学B,中部電力C
@尾鍋 和憲A, 土井 俊哉B, 鹿島 直二C, 長屋 重夫C, 斉藤 隆A
CVD法を用いてYBCOテープの長尺・高速合成を実現するために、基材巻取り方向に6つの反応室をシリーズ配置した6段CVD装置を開発した。この装置を用いることで、10m/hの作製速度においても厚さ0.3〜0.4μmのYBCO膜を形成することが可能となり、YBCOテープの作製速度を大きく向上することができた。そこで今回は、6段CVD装置を用いてAgテープ上に合成したYBCO膜に関して、長尺化および高速合成を検討した結果を報告する。