Ag薄膜を被覆したYBCO薄膜のJc分布

Distribution of critical current density in YBCO thin film covered with Ag thin film

東芝研究開発センター,Super-GM^A
@工藤 由紀, 久保田 宏, T.D.Thanh, 芳野 久士, 和智 良裕^A

　 YBCO薄膜を用いた限流素子や線材において、電流導入や安定化のためにAg薄膜を用いて被覆することが多い。この場合、Ag薄膜で被覆したことにより超電導特性の劣化を生じないことやAgとYBCOとの電気的な接触抵抗が小さいことが要求される。今回、Ag成膜プロセスによってはAg薄膜直下のJcが低下することや、Jc低下を防止するにはAg成膜前にプレアニールを行うことが効果的であることを見出したので報告する。