ＳＮ転移型限流素子用HoBCO膜の開発

Development of HoBCO films for SN transition type fault current limiter

住友電工^A,Super-GM^B
@母倉 修司^A, 大松 一也^A, 武井 廣見^A, 小沢 保夫^B

　 ＳＮ転移型限流素子への適用を目的として、パルスレーザ蒸着法を用いてサファイア基板上に大面積サイズのHoBCO超電導膜の開発を行っている。均一な大面積超電導膜を作製するために、回転成膜PLD法と２次元揺動PLD法の２手法により開発を行った。その結果、3cm×10cmサイズでMA/cm2級の臨界電流密度を有する超電導薄膜が開発できた。