BaF2を含む前駆体膜の減圧酸素中熱処理により作製したYBCO膜の構造

Microstructures of YBCO films by post-ammealing of precursor films including BaF2 at low pressure of oxygen atmospere

電中研,物・材研^A,東海大^B
@一瀬 中, 菊地 章弘^A, 太刀川 恭治^B, 秋田 調, 井上 廉^A

　 蒸発源にY, BaF2, Cuを用いて前駆体膜を作製し、その後、水蒸気を導入せず、減圧した酸素雰囲気中で熱処理することによりYBCO超電導膜を作製した。この方法で作製した厚さ約200nmの膜において、熱処理の途中で急冷した膜、および、熱処理を完全に終了した膜の断面構造を透過型電子顕微鏡で観察した。これらの膜の微細構造の結果について報告する。