TFA-MOD法によるYBCO長尺線材プロセスの基礎技術（１）

Basic technique of fabricating YBCO coated conductors by TFA-MOD method(1)

SRL,フジクラ^A
@徳永 義孝, 富士 広, 寺西 亮, 浅田 繁信, 本庄 哲吏, 和泉 輝郎, 塩原 融, 飯島 康裕^A, 斎藤 隆^A

　 TFA-MOD(Metal Organic Deposition)法は、非真空プロセスで低コストであることから、RE系超電導テープ線材成膜方法として期待されている。我々はこれまでにCeO₂/YSZ(IBAD)/ハステロイ上に1.0μm膜厚、Jc(77K,0T)=1.6MA/cm²を有するYBCO膜の成膜に 成功している。本報では長尺線材を指向した焼成条件などの基礎技術に関する検討内容について報告する。