BaF₂を含んだ前駆体膜の減圧酸素中の熱処理によるYBCO膜の作製と特性

Preparation and characterization of YBCO films by post-annealing of precursor films including BaF₂ at low pressure of oxygen atmosphere

電中研,物・材研^A,九大^B,東海大^C
@一瀬　中,菊池章弘^A,木須隆暢^B,太刀川恭治^C,秋田　調,井上　廉^A

　 Y、BaF2、Cuを原料に用いてYBCO膜の前駆体膜を室温で作製し、結晶化の熱処理は純酸素のみを導入し水蒸気は導入せずに減圧酸素中で行った。この作製方法により、膜厚約200nmのYBCO膜を作製した。得られたYBCO膜はほぼ膜全体がエピタキシャル成長していることが透過型電子顕微鏡により確認された。また、四端子法で測定した77K、自己磁場中の臨界電流密度(Jc)は１MA/cm2を超える高Jc膜が得られた。当日は、Jc-B特性および厚膜化について報告する。