PLD法によるYBa₂Cu₃O_7-x膜およびSmBa₂Cu₃O_7-y膜の厚膜検討
〜CeO₂中間層上による厚膜化〜

Investigation of thick YBa₂Cu₃O_7-x film and SmBa₂Cu₃O_7-y film prepared by PLD
〜Thick films on CeO₂ buffer layer〜

超電導工学研究所
@ 岩井博幸、室賀岳海、山田穣、塩原融

　 YBCO線材作製に向けてCeO₂中間層上にPLD法を用いて超電導層YBCOおよびSmBCOについて、CeO₂膜厚を変化させての成膜および超電導層の厚膜化を実施し、表面粗さや超電導特性を比較したため報告する。