低温積層蒸着法により作製した超伝導MgB₂薄膜の特性

Properties of superconducting MgB₂ thin films prepared by low temperature sequential evaporation technique

島根大総合理工,物質・材料研究機構^A
矢田真治,加藤孝弘,山中一輝,山田裕,松下明行^A,@久保衆伍

　 金属間化合物超伝導体であるMgB₂の薄膜を，240^oC程度の低基板温度においてMg上にBを積層蒸着することにより形成できることを見出した。この薄膜の形成機構，電気特性等について報告する。