TFA-MOD法による単結晶基板上へのGd123膜の作成

Fabrication of Gd132 films by TFA-MOD method on single crystalline substrates


名大工,超電導工研A,名大理工総研B

@井口俊宏,荒木猛司A,金 錫範A,山田 穣A,生田博志B,平林 泉A,水谷宇一郎


  トリフルオロ酢酸 (TFA)を用いたMetalorganic Deposition(MOD)でのY123膜の作成では、非真空プロセスながら高い超伝導特性が得られている。また、Gd,Sm,Nd等を使用したRE123のバルク材では、Y123より高いTc,Jcも報告されている。よって今回、TFA-MOD法を用いGd123膜の溶液調製と作成プロセスの検討を行った。