超電導磁気分離による半導体加工工場廃液処理

Recovery of Abrashives from Wasted Surry by Superconducting High Gradient Magnet separation


阪大産研,岡大工A,京都工繊B,TKXC

@西嶋茂宏,武田真一,中平敦,堀江進一


  太陽電池用シリコンブロックの加工工場からの廃液を,超電導高勾配磁気分離システムで,処理し,廃液スラリーに含まれる,砥粒を分離することに成功した.この砥粒は,再利用可能であり,従来廃棄費用が必要であったスラリーからの回収は,加工工程の大幅なランニングコストの低減が期待されている.経済的に成立する条件を,実験結果から判断し,実用レベルでの工場への導入が可能である事があきらかになった.