Bi2223超電導厚膜を電極にもつTM010モード誘電体共振器のマイクロ波特性

Microwave properties of TM0101-mode dielectric resonator comprising screen-printed Bi2223 thick films as superconducting electrodes


豊橋技科大、(株)村田製作所A

@太田昭男、鷲本大樹、加藤範洋、,金高裕仁A


  比誘電率24のBa(Sn,Mg,Ta)O3誘電体セラミックス円板の両面にスクリーン印刷Bi2223超電導厚膜を直接成膜し,TM010モードで動作する超電導電極/誘電体一体型マイクロ波共振器を作成した。共振周波数2.1GHにおける共振器の無負荷Q(Qu)及び超電導厚膜の表面抵抗(Rs)を温度の関数として20K〜110Kの範囲で測定した。超電導厚膜の作成プロセスの最適化により,共振器のQu値は70Kで74,000(Rs=0.34mΩ),25Kでは158,000(Rs=0.14mΩ)に達した。これらのQu値は銀電極をもつ同一構造の誘電体共振器の結果(70KでQu=3,700,25KでQu=9,100)と比べて約20倍近く優れている。