小型超伝導パッチアンテナの試作と評価

Fabrication and evaluation of miniaturized superconducting patch antenna

山形大工、Napoli Univ.^A

@中川智博、佐藤和明、楠正暢、大嶋重利、向田昌志、A.Cassiness^A,M.Barra^A,I.Fragala^A,G.Malandrino^A,L.M.S.Perdicaro^A,R.Vaglio^A

　 超伝導でアレー化する場合には、平面型のアンテナであるパッチアンテナが適している。しかし、超伝導薄膜のサイズは有限であるため、アンテナをアレー化する際には小型化することが望ましい。そこでパッチアンテナにスリットを入れることにより、パッチサイズの小型化を行った。アンテナは、MgO基板上にYBa₂Cu₃O_yを成膜し、フォトリソグラフィを用いてパターニングしたものを評価した。本報告では、共振周波数や利得、入力インピーダンスについて報告する。