LPE法によるYBCO超電導線材作製における新種膜に関する検討

Fabrication of new seed layer for LPE growth of YBCO superconducting wires

超電導工学研究所

@金錫範,山田容士,須賀俊裕,前田敏彦,山田穣,平林泉

　 薄膜超電導線材作製プロセスの一つである液相エピタキシャル（LPE）法は、厚膜化および高速成膜に優れた作製法である。LPE法によるYBCO薄膜作製においては種膜が必要であり、一般的には種膜としてYBCO薄膜をPLD法などにより作製する。しかし、PLD法などによる均質のYBCO種膜を長い線材に作製することは非常に難しかったため、簡便な方法で作製可能な新しい種膜の開発が課題であった。 そこで我々は、LPE法における新種膜としてNdGaO3薄膜を開発し、その有効性に関して検討を行ってきた。本発表では、新種膜として提案したNdGaO3薄膜について、その結晶性とLPE法により作製したYBCO膜との関係について高分解SEMなどにより検討したのでその結果を報告する。